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半导体智能工厂自动化解决方案
ZIP Stocker 晶圆储存设备
盟立集团开发的ZIP Stocker储存设备,可提高Foup的储存量,且备被多功能投料口设计,以达到全方位整合Manual Port、AGV Port的各项功能;并附加了氮气自动填充功能,可确保Foup内晶圆的储存良率及完整性,拥有更多元及弹性的利用价值。
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