产品信息
2018.03.08

无线监控落尘量测系统(PMS)

LTPS制程设备中,提升良率的重要关键为减少发尘量,即控制Particle产生的数量,目前常用的方式为人员携带Particle counter针对所需要的区域进行量测,此方式常需要耗费相当的时间与人力,且在stocker区域,2米以上的空间对量测人员而言,有位置及高度的危险限制,因此,盟立推出可无线监控,随者设备移动的落尘量测设备,无线监控落尘量测系统(PMS-Particle Measuring Systems简称PMS),PMS特点为Cassette外型,可随者设备移动至任何需要量测的地点, PMS除可量测Particle数据外,也同时搭配振动量测的加速规与风速计、温湿度计等数据计器,由于Particle counter置于等同cassette大小尺寸的框体,可延伸量测cassette多点位置,藉由得知放置于cassette内的玻璃,各个位置点的落尘数值,PMS嵌入式系统负责讯号收集,并响应 Client 端的要求实时回传数据,获得的数据数据,可转换成图形分析,在各设备间的落尘收集、分析、大数据等用途上,PMS提供更便捷、及时、完整数据的解决方案。
 
无线监控落尘量测系统(PMS)
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