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产品信息
2019.06.14
AMHS Device Control System - LCS 与 N2P机台整合
N2 Purge(N2P)设备是一种运用在半导厂内的设备机台，FOUP载具填充惰性气体（氮气N2）以降低晶圆氧化及保持干燥状态稳定FOUP内环境。
盟立N2 FOUP Stocker系统整合N2P设备，N2P是以嵌入式模式与Stocker介接，一体式嵌入Stocker储位，底层通讯是以SEMI E84 8bit模式，N2P与LCS通讯是以SEMI SECS模式，底层与上位系统皆以SEMI标准开发，易于扩充应用；N2P搭配盟立自有Stocker设备客制整合后可因应各家不同FOUP type进行Recipe设定，依各家FOUP载具不同，其填充N2的孔位也不尽相同，所以N2P可以依FOUP进行底板置换因应各家FOUP type，LCS可进行FOUP type 绑定，达到多种FOUP自动填充N2功能。
Control System：
在系统整合方面，盟立LCS有很强的整合能力可以提供客户良好的上下游系统链接，除监控及记录N2P状态、温湿度，还可将N2P异常等信息上报MCS，N2P的状态亦可透过MCS客制上报到MES系统。
N2P与LCS沟通采用WebApi方式，不直接存取DB来降低程序间的耦合与依赖，有比较大的弹性可扩充，LCS架构不变下嵌入各式EQ设备都可使用WebApi进行通讯，大大降低程序整合及开发，可快速因应客户需求进行软件调整；经过LCS整合后其相关设备数据亦搜集记录在LCS系统，方便往后进行大数据分析，让客户依据大数据分析调整制程。
盟立提供高可靠度的软件控制系统LCS，搭配盟立自家的搬送硬设备，可依客户需求整合各式设备，提供客户最佳的Total Solution。以下为LCS & N2P机台整合的功能：
盟立N2 FOUP Stocker系统整合N2P设备，N2P是以嵌入式模式与Stocker介接，一体式嵌入Stocker储位，底层通讯是以SEMI E84 8bit模式，N2P与LCS通讯是以SEMI SECS模式，底层与上位系统皆以SEMI标准开发，易于扩充应用；N2P搭配盟立自有Stocker设备客制整合后可因应各家不同FOUP type进行Recipe设定，依各家FOUP载具不同，其填充N2的孔位也不尽相同，所以N2P可以依FOUP进行底板置换因应各家FOUP type，LCS可进行FOUP type 绑定，达到多种FOUP自动填充N2功能。
Control System：
在系统整合方面，盟立LCS有很强的整合能力可以提供客户良好的上下游系统链接，除监控及记录N2P状态、温湿度，还可将N2P异常等信息上报MCS，N2P的状态亦可透过MCS客制上报到MES系统。
N2P与LCS沟通采用WebApi方式，不直接存取DB来降低程序间的耦合与依赖，有比较大的弹性可扩充，LCS架构不变下嵌入各式EQ设备都可使用WebApi进行通讯，大大降低程序整合及开发，可快速因应客户需求进行软件调整；经过LCS整合后其相关设备数据亦搜集记录在LCS系统，方便往后进行大数据分析，让客户依据大数据分析调整制程。
盟立提供高可靠度的软件控制系统LCS，搭配盟立自家的搬送硬设备，可依客户需求整合各式设备，提供客户最佳的Total Solution。以下为LCS & N2P机台整合的功能：
- Manual Purge.(手动充填N2)
- Auto Purge.(自动排程充填N2)
- Purge Cycle Hours.(循环充填N2)
- Purge Overtime Hours.(超时回充N2)
- FOUP type setting (FOUP type设定)
- N2P status monitor.(N2P状态监控)
- N2P Alarm Report.(N2P异常回报)