随着智能工厂的诞生,为了节省人力成本及搬运时间所造成之浪费,自动化搬运系统产品种类日趋增加。如何能更有效利用空间,增加搬运路径之弹性,于是OHT这类产品因运而生。OHT(空中走行式搬送车)是Overhead Hoist Transfer的简称,一种能在空中轨道上行驶之自动化搬运系统,由升降装置马达驱动皮带,自动抓取设置在port的FOUP(Front Open Unified Pod),实现了晶圆在各加工区间快速稳定的搬运且不占用洁净室地面空间,成为晶圆制造工厂应用最广泛的搬运工具。
有关OHT载具的驱动方式主要分为Gripper type、Roller type,轨道设计也分为单轨式及双轨式。OHT在晶圆制造工厂整体布局中,搬运设备无需经过Stocker转运而可以直接进行设备到设备的搬运,这种方式虽然提高了搬运效率,但也容易引起OHT台车发生碰撞及堵塞的情形。如何有效消除碰撞等现象,使搬运系统流畅运行,是目前OHT搬运系统调度中的关键问题。故规划前期的物流模拟扮演其重要角色,透过模拟分析能针对搬运时间进行预测与分析,可以有效缩短搬运等待时间,迅速移动并且避免台车间的调度问题,实现路径优化。
而OHT与AGV同为灵活运用之搬运系统,晶圆制造工厂为何采用OHT的主因在于”效率”,除了OHT轨道设置在天花板能畅行无阻外,其中的轨道设计更影响搬送时的速度及流畅度。就连制程设备与弯轨间之距离、弯轨与弯轨间之距离,轨道中心与柱位间之距离皆透过盟立专业人员缜密之计算以及富丰的设计经验而获知。
结论:OHT能有效利用天花板及机台上方空间,输送距离较长,轨道路径也能依照厂内空间做设计,甚至能做到跨栋间的搬送。加上传送速度非常快,因此能缩短生产周期,提高设备的利用率和增加生产产能,成为FAB厂内搬运的最佳帮手。
因应未来工业4.0,提升制造业之竞争力,近期愈来愈多智能工厂利用云端系统采集生产数据建立高度灵活的生产模式,而盟立自动化凭借着多年来发展自动化搬运系统的丰富经验,致力研发创新产品,依照客制化需求,设计最符合经济效益之自动化搬运系统,为客户创造最佳效果。
随着智能工厂的诞生,为了节省人力成本及搬运时间所造成之浪费,自动化搬运系统产品种类日趋增加。如何能更有效利用空间,增加搬运路径之弹性,于是OHT这类产品因运而生。OHT(空中走行式搬送车)是Overhead Hoist Transfer的简称,一种能在空中轨道上行驶之自动化搬运系统,由升降装置马达驱动皮带,自动抓取设置在port的FOUP(Front Open Unified Pod),实现了晶圆在各加工区间快速稳定的搬运且不占用洁净室地面空间,成为晶圆制造工厂应用最广泛的搬运工具。
有关OHT载具的驱动方式主要分为Gripper type、Roller type,轨道设计也分为单轨式及双轨式。OHT在晶圆制造工厂整体布局中,搬运设备无需经过Stocker转运而可以直接进行设备到设备的搬运,这种方式虽然提高了搬运效率,但也容易引起OHT台车发生碰撞及堵塞的情形。如何有效消除碰撞等现象,使搬运系统流畅运行,是目前OHT搬运系统调度中的关键问题。故规划前期的物流模拟扮演其重要角色,透过模拟分析能针对搬运时间进行预测与分析,可以有效缩短搬运等待时间,迅速移动并且避免台车间的调度问题,实现路径优化。
而OHT与AGV同为灵活运用之搬运系统,晶圆制造工厂为何采用OHT的主因在于”效率”,除了OHT轨道设置在天花板能畅行无阻外,其中的轨道设计更影响搬送时的速度及流畅度。就连制程设备与弯轨间之距离、弯轨与弯轨间之距离,轨道中心与柱位间之距离皆透过盟立专业人员缜密之计算以及富丰的设计经验而获知。
结论:OHT能有效利用天花板及机台上方空间,输送距离较长,轨道路径也能依照厂内空间做设计,甚至能做到跨栋间的搬送。加上传送速度非常快,因此能缩短生产周期,提高设备的利用率和增加生产产能,成为FAB厂内搬运的最佳帮手。
因应未来工业4.0,提升制造业之竞争力,近期愈来愈多智能工厂利用云端系统采集生产数据建立高度灵活的生产模式,而盟立自动化凭借着多年来发展自动化搬运系统的丰富经验,致力研发创新产品,依照客制化需求,设计最符合经济效益之自动化搬运系统,为客户创造最佳效果。