产品信息
2018.11.29

SEMI-Wafer STK半导体自动化物料搬运系统-晶圆搬运系统

随着半导体技术的推进,加深了半导体对高生产效率及洁净度的要求,使自动化物料搬运系统(Automatic Material Handling System,AMHS)在半导体厂内显得格外重要。在此同时,为了要使自动化物料搬运系统在执行搬运物料的过程更确实,以免在搬运的过程中产生停摆,造成车间缺料而影响整个系统的运作,甚至造成整体产能的延宕,故能提供速度快、精度准、质量好的车间全自动传送设备整合商,才能符合半导体快速变动的产业特性。

当晶圆制程越繁杂、生产车间越多时,车间转换的储存区域就有存在的必要性。在这样的模式下,Wafer STK可以让整个自动化物料搬运系统得以顺畅的运作,降低等待搬运的时间,进而提升整体搬运系统的效率。
 
AMHS是全自动晶圆厂的关键因素,盟立现阶段已开发出包含天车系统(OHT)用于执行车间中的传送及料架间的移动,Wafer STK执行车间转换区域的储存功能。依各厂现地状况,也可搭配AGV、Robot、跨楼层Lifter、OHS等自动化传送设备,目的就要为了达到高度自动化及有效率的智能物流运筹系统。

有鉴于上述的趋势,盟立加速在半导体业的全方位解决方案落实,奠基于面板业的经验累积,加上坚强的研发工程团队,已能为客户量身打造符合半导体产业的智能搬送设备系统。目前已有国际大厂陆续导入,盟立期盼接下来能与各半导体大厂携手合作,持续将整体FAB运用效益极大化。
 
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