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2017.06.16

洁净室超薄玻璃气浮传送系统

随着面板日益升高的市场需求,使得玻璃基板需求越来越多,因应这庞大的市场需求,各面板厂商无不为了提高生产产量及生产效率,乃至玻璃基板的发展朝向更大尺寸的开发。全球各大面板厂都积极开发跨世代产品,从3.5代(600mm×720mm)、5代(1100×1300mm)、6代(1500×1850mm)、7.5代(1950×2250mm)、8.5代(2200×2500mm)、sharp位于大板府堺市的堺工厂进行的10代(2850×3050mm)厂的建置、到目前BOE 10.5代(2940×3370mm)、CSOT 11代(2940×3370mm),可显现出各家面板大厂都积极开发更大世代面板开发生产,同时也反映出各面板厂的技术发展领先程度。但在这背后,玻璃基板的尺寸面积一直扩大及变薄,在制程过程中,玻璃的储存、搬运、包装的稳定性都将受到极大的挑战。

目前业界TFT-LCD玻璃基板在生产过程是采用移载平台(滚轮式)接触式作业,此作业方式容易引起玻璃基板背面的刮伤、污染等问题,进而影响生产良率与质量,大幅增加生产成本。因应上述问题,盟立凭借着多年在面板产业导入生产自动化的设计的经验,突破技术上的限制,自行研发出洁净室超薄玻璃气浮传送系统(图一)。

有别于目前产业界上的气浮输送机,盟立洁净室超薄玻璃气浮传送系统可分为以下几项优势:
  1. 机种多样化:目前业界上的气浮输送机,只能对应直线输送,而盟立洁净室超薄玻璃气浮传送系统利用伯努力吸震及3D气流设计,在玻璃基板与气浮板之间制造出3D气流,使玻璃基板在传输过程中,能够更稳定的输送,不会受到外部环境气流的影响。因此无论是直线输送、上升、下降,转向等输送都能对应,且由于3D气流的设计,使气浮板间的距离最大能扩大到250mm(如图二),能够对应机械手臂夹爪的取放,同时也能对应wire cassette设计。
  2. 智能、节能:盟立洁净室超薄玻璃气浮传送系统采用日本DC无刷风扇,高稳定、高效能、高寿命及低耗能,且每具风扇皆独力控制,透过传感器配合智能控制,在无玻璃基板流过时,能自动降速,待传感器侦测到玻璃基板流入时,会再次启动,达到节能目的。另外,盟立洁净室超薄玻璃气浮传送系统都有导入智能监控系统,透过监控风扇的运转效率、风压的输出是否正常,来确保玻璃基板能在稳定的状态下输送,预防及避免机台的当机,导致玻璃基板毁损,造成成本上的浪费。
  3.  
盟立洁净室超薄玻璃气浮传送系统
图一、盟立洁净室超薄玻璃气浮传送系统
 
气浮板间的距离最大能扩大到250mm
图二、气浮板间的距离最大能扩大到250mm
 
以目前的趋势显示出,气浮输送机将成为未来大尺寸玻璃基板移载输送的主流技术,盟立洁净室超薄玻璃气浮传送系统更是在此项技术上领域上领先各家厂商,在未来不仅在玻璃基板的移载,此项产品更可以广泛运用到其他产业产品,例如半导体晶圆、太阳能面板等搬运系统中。盟立自动化在产业界上,经过数十年经验上的累积,不断精进技术,配合顾客的需求,研发设计出符合顾客的产品,并秉持着「第一次就完全做对」的严谨态度,提供客户最完善的方案服务,满足客户的需求,并成为客户最信任的伙伴。
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