产品信息
2016.12.05

PMS落尘量测系统

盟立投入LTPS制程设备,目前已有Cass 10 0.1um洁净度的实绩,Stocker为制程外围整合的重要角色,主要负责制程与成品的运送与管理,其运送物为玻璃卡匣(Cassette),因产品特性需维持在高洁净度环境,因此在验证洁净度的作法为手持Particle counter进入设备进行量测,此作法耗时与费人工,为此盟立开发可自动充电,且可在自动模式下进行设备落尘量测的PMS(落尘量测系统)。

PMS主要搭配Particle counter、振动计、风速计、温湿度计等量测组件,集成于玻璃卡匣(Cassette),可在Stocker内任一储位放置与量测,且与在线产品搬运没有冲突,可同时进行产品搬运或数据量测,数据透过无线传输至上位管理系统,可作为数据分析及大数据数据管理,相较过去需由人工方式携带多种量测仪器,且需使设备搬运中止,以利量测的作法,PMS不但是多元整合的量测总成,可穿梭于各式设备,进行数据量测,提高产能效率的好帮手。
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