晶圆卡匣取放系统
 
 
 
 
 
产业应用介绍

 
適用范围:
l晶圆生产
l太阳能
lLED
 
制程:
l入料/出库
l制程取放
l品保检验
 
优点:
l高洁净度避免人工作业汚染,
l高荷重避免人工作业风险, 电脑作业料帐清楚, 上下游资料传送精确