IR机器人
ISO CLASS 1,独立 4 轴,工作区大,高速灵活

 
 
晶圆ID MARKER
先进整合技术,高生产效能,最小设备空间

 
 
晶圆卡匣取放系
高洁净度/避免人工操作污染及作业风险/计算机作业料帐清楚/上下游数据传送精确。

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