IR機器人
ISO CLASS 1,獨立 4 軸,工作區大,高速靈活

 
 
晶圓ID MARKER
先進整合技術,高生產效能,最小設備空間

 
 
晶圓卡匣取放系統
高潔淨度/避免人工作業污染及作業風險/電腦作業料帳清楚/上下游資料傳送精確。

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